Analyse des contaminants conformément à la norme IEST-STD-CC1246D
Dans ce rapport, une wafer témoin de silicium de 10 cm (4 po) est soumise à l’analyse des contaminants conformément à la norme IEST-STD-CC1246D. Le rapport affiché ci-dessous est un exemple des performances de Clemex PSFilter 2 conformément à cette norme.
L’image de la plus grande particule trouvée sur la wafer est affichée le rapport.
BUT
Il s’agit d’un rapport entièrement automatisé généré avec Clemex PSFilter 2 conformément à la norme IEST-STD-CC1246D. L’entière surface de la wafer est analysée pour évaluer le niveau de propreté d’une salle blanche. La méthode de Poisson permet de déterminer un intervalle de confiance de 95 % (limite de confiance inférieure [LCI] à limite de confiance supérieure [LCS]) pour le comptage des particules. Les comptages normalisés pour chaque intervalle de taille sont comparés aux valeurs autorisées.
RÉSULTATS
Toutes les particules trouvées sont mesurées et leur distribution est indiquée dans ce graphique. Le nombre de particules pour chaque intervalle de taille est déterminé et comparé aux comptes maximums acceptables.
