Reinheitsauswertung gemäß IEST-STD-CC1246D
Für diesen Bericht wurde der Witness-Träger eines 4-Zoll-Siliziumwafers zur Reinheitsauswertung gemäß IEST-STD-CC1246D eingeschickt. Der unten abrufbare Bericht zeigt, wozu Clemex PSFilter 2 gemäß dieser Norm in der Lage ist.
Der größte auf dem Wafer gefundene Partikel wird im Bericht angezeigt.
ZWECK
Dieser mit Clemex PSFilter 2 automatisch erstellte Bericht entspricht den Vorgaben von IEST-STD-CC1246D. Um den Reinheitsgrad eines Reinraums zu bewerten, wurde die gesamte Oberfläche des Wafers untersucht. Zur Bestimmung des 95-%-Konfidenzintervalls (untere Konfidenzgrenze [LCL] bis obere Konfidenzgrenze [UCL]) einer Partikelmenge wurde die Poisson-Methode verwendet. Normierte Mengen für jedes Größenintervall wurden mit zulässigen Werten verglichen.
ERGEBNISSE
Alle gefundenen Partikel wurden gemessen, ihre Verteilung ist in diesem Diagramm dargestellt. Für jedes Größenintervall wird die Partikelmenge bestimmt und mit den maximal zulässigen Mengen verglichen.
