Évaluation de la propreté selon la norme IEST-STD-CC1246D
Dans ce rapport, une plaque témoin en silicium de 4 pouces est soumise à une évaluation de propreté selon la norme IEST-STD-CC1246D. Le rapport disponible ci-dessous est un exemple de ce que Clemex PSFilter 2 peut fournir conformément à cette norme.
L’image de la plus grande particule trouvée sur la plaquette est présentée dans le rapport.
Solution Clemex pour l’évaluation de la propreté selon la norme IEST-STD-CC1246D
Solution
Il s’agit d’un rapport entièrement automatisé généré avec Clemex PSFilter 2 conformément à la norme IEST-STD-CC1246D. Toute la surface de la plaquette est analysée afin d’évaluer le niveau de propreté d’une salle blanche. La méthode de Poisson est utilisée pour déterminer l’intervalle de confiance à 95 % (limite inférieure de confiance [LCL] à limite supérieure de confiance [UCL]) du nombre de particules. Les comptages normalisés pour chaque intervalle de taille sont comparés aux valeurs admissibles.
Résultats
Toutes les particules détectées sont mesurées et leur distribution est présentée dans ce graphique. Le nombre de particules pour chaque intervalle de taille est déterminé et comparé aux seuils maximaux admissibles.
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